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  • 引用文献
  • 法律状态
  • 优先权
    • 专利摘要:
    Übliche Wickelvorrichtungen (17) zum Beschichten von Bändern mittels Vakuumverfahren sind an einer Kammerwand der Vakuumkammer (3) befestigt. Beim Evakuieren der Vakuumkammer verformen sich die Kammerwände, wodurch eine präzise Wickelung erschwert wird. DOLLAR A Die Erfindung offenbart eine Vorrichtung, die einen raschen Substratwechsel ermöglicht und sicherstellt, dass der Wickelmechanismus (17) ungestört von Verformungen der Vakuumkammer (3) ist. DOLLAR A Die Aufgabe wird durch ein Tragrohr (1) gelöst, welches durch die Tür (2) der Vakuumkammer (3) verläuft. Das Gewicht von Tür (2) und Rohr (1) wird durch einen Fahrwagen aufgenommen. Die Vakuumdichtung zwischen Rohr (1) und Tür (2) ist mittels mindestens eines Dichtrings (15) ausgestaltet. Am Tragrohr (1), ohne festen Verbund zur Kammer (3), sind zwei Lagerschilde (4, 5) angebracht, an denen die Wickelwalzen (6, 8 und 10 bis 12) gelagert werden, derart, dass die Walzenachsen parallel zum Tragrohr (1) sind.
    公开号:DE102004019062A1
    申请号:DE200410019062
    申请日:2004-04-20
    公开日:2005-11-10
    发明作者:Peter Lazarov
    申请人:Peter Lazarov；
    IPC主号:C23C14-56
    专利说明:
    [0001] DieErfindung betrifft eine Vorrichtung zum Beschichten von schwerenBändernim Vakuum in einer zylindrischen Kammer, mit mindestens einer auf einerZylinderseite ausfahrbaren Türzum druckdichten Verschließender Kammer, einem durch die Türin das Vakuum ragenden Rohr an dem eine Wickelvorrichtung angebrachtist, die überzwei Lagerschilde verfügtzwischen denen sich drehbar gelagerte Umlenk-, Tänzerwalzen, mindestens je eineAbwickel- und Aufwickelwalze befinden, sowie mindestens eine inoder an der Kammer befindliche Beschichtungsquelle, wobei Tür samt Rohrund Wickelvorrichtung mittels einem Fahrwerk zum Zweck des Be- undEntladens in die Kammer von außenverfahrbar sind, so dass alle Walzen von außen zugänglich sind und das Rohr derartan Fahrwerk und Türbefestigt ist, dass durch die Verformung der Vakuumkammer beim evakuierenkeine Kräfteauf die Wickelvorrichtung entstehen.
    [0002] ZurHerstellung selektiver Absorber für Sonnenkollektoren werden üblicherweisegroßeMengen an Kupferband in Losgrößen von500 kg bis zu mehreren Tonnen in großen Vakuumkammern, die über einFassungsvermögenvon mehreren Kubikmetern verfügen,bedampft. Bisher ist es üblichWickelvorrichtungen fürdiese schweren Bänderan einer Kammerwand zu befestigen, so offenbart in DE 197 00 408 A1 , US 4,393,091 , DE 42 23 568 C1 oder DE 37 40 483 . Diese Ausführung hatmehrere Nachteile. Durch das Evakuieren der Vakuumkammer verformensich die Kammerwändewodurch eine präzise Wickelungnicht mehr gegeben ist. Um diesen Nachteil zu überwinden wird in DE 41 32 204 C2 eine Vorrichtungoffenbart die die Durchbiegung von Außenwänden an Vakuumbehältern reduzierensoll. Eine solche Vorrichtung ist allerdings aufwendig. Der zweiteNachteil ist, dass das Be- und Entladen, zeitaufwendig ist und langeWartezeiten entstehen. Dieser Nachteil wird durch DE 37 26 113 A1 beseitigt. Darin(in DE 37 26 113 A1 )ist offenbart, die Wickelvorrichtung zwischen zwei Platinen zu montierenund diese mittels einer Verfahrvorrichtung in die Beschichtungskam mereinzubringen. Hier wird eine der Platinen mit dem Kammerdeckel verbunden.Hierbei werden jedoch wiederum die Wickeleigenschaften durch dieVerformung der Kammer durch das Evakuieren beeinträchtigt.
    [0003] Aufgabeder vorliegenden Erfindung ist es, eine Vorrichtung der eingangsgenannten Art so auszubilden, dass sowohl ein rascher Wechsel der schwerenBänder,die das Wickelsubstrat darstellen möglich ist, als auch der Wickelmechanismusungestörtvon Verformungen der Vakuumkammer abläuft. Der dadurch mögliche rascheWechsel des Wickelsubstrates senkt die laufenden Kosten beim Betrieb derVorrichtung. Die Entkopplung zwischen Kammerwänden und Wickelvorrichtungermöglichteine höhereBetriebszuverlässigkeitund kostengünstigereProduktion mit der Beschichtungsanlage.
    [0004] Erfindungsgemäß wird dieAufgabe durch ein Tragrohr gelöstwelches durch die Türder Vakuumkammer verläuft.Das Gewicht der Türund des Rohres wird durch geeignete Aufnehmer, die mit einem Fahrwagenverbunden sind, getragen. Die Vakuumdichtung zwischen Rohr und Tür ist mitmindestens einem Dichtring ausgestaltet. Tragrohr und Türe sindunabhängigvoneinander an einem Fahrwagen befestigt. Am Tragrohr, ohne festenVerbund zur Kammer, sind zwei Lagerschilde angebracht an denen dieWickelwalzen gelagert werden und zwar derart, dass die Walzenachsenparallel zum Tragrohr sind.
    [0005] DieWickelvorrichtung besteht aus einer Ab- und Aufwickelwalze, diedurch zwei an der Türeaußerhalbdes Vakuums befestigte Motoren angetrieben werden. Weiterhin beinhaltetdie Wickelvorrichtung mindestens zwei Umlenkwalzen, von denen vorzugsweisemindestens eine als Heizwalze ausgeführt werden kann, mindestenseine Tänzerwalzedie durch je zwei Federpakete in Richtung Tragrohr gezogen wird.Vorzugsweise laufen auf den Auf- und Abwickelwalzen Anpressrollen.
    [0006] Einebevorzugte Ausführungder Erfindung besteht darin eine oder mehrere Umlenkwalzen mit einemBremsmotor, der außerhalbdes Vakuums angebracht ist, zu verbinden. Der besondere Vorteildieser Ausgestaltung ist, dass hierdurch der Bandzug in verschiedenenBereichen der Wickelstrecke unterschiedlich gestaltet werden kann.
    [0007] Unterder, zwischen den Umlenkwalzen entstehenden Freistrecke des Bandesist in der Kammer oder an der Kammer eine Beschichtungseinheit,gegenüberder Wickelvorrichtung ortsfest angebracht. Bei der Beschichtungseinheithandelt es sich vorzugsweise um eine PVD oder CVD Einheit, besondersbevorzugt um einen Elektronenstrahlverdampfer, eine Sputterquelleoder ARC-Quelle.
    [0008] Vorzugsweiseist der Fahrwagen auf Rollen oder auf einem Schienensystem bewegbar.Diese Rollen oder Schienen sind breiter ausgeführt als die zylindrische Vakuumkammer.Der Fahrwagen fährt dieTüre samtTragrohr und Wickelvorrichtung in die Kammer vakuumdichtend ein.
    [0009] DieErfindung lässtverschiedene Ausführungsmöglichkeitenzu; eine davon ist in der angehängtenZeichnung rein schematisch dargestellt:
    [0010] 1 zeigtdie Seitenansicht der Kammer, sowie die ausgefahrene Türe mit Tragrohrund Wickelvorrichtung. Das Fahrwerk ist, zwecks besserer Übersicht,nicht abgebildet.
    [0011] 2 zeigtdas Tragrohr mit Wickelwalzen zwischen den Lagerschilden.
    [0012] DieBeschichtungsanlage besteht aus einer zylindrischen Vakuumkammer(3), einer Wickelvorrichtung (17), welche an einTragrohr (1) befestigt ist. Tragrohr (1) und Türe (2)der Vakuumkammer (3) sind an einem Fahrwerk befestigt.Das Fahrwerk fährtauf einem Schienensystem derart, dass Tür (2) und Tragrohr(1) mit der Wickelvorrichtung (17) in die Vakuumkammer(17) einfahren kann. Die Tür (2) und die Kammer(3) sind beide mit einem Dichtungsflansch (18)versehen, so dass die Türe(2) die Kammer (3) vakuumdicht abdichtet.
    [0013] DieWickelvorrichtung besteht aus zwei Lagerschilden (4, 5)an denen die Walzen, Ab- und Aufwickelwalze (8, 9),Umlenkwalzen (6, 7), Anpressrollen (10, 11),Tänzerwalzen(12, 13) und die Federpakete (14) angebrachtsind. Das zu beschichtende Band wird von der Abwickelwalze (8) über dieUmlenkwalze (6) geführt.Hierbei wird es von der Tänzerwalze(13) geführtund gestreckt, so dass an der Umlenkwalze (6) ein definierterUmschlingungswinkel entsteht. Die Umlenkwalze (6) ist indiesem Beispiel als Heizwalze ausgeführt. Hierzu werden elektrische Leitungendurch das Rohr (1) verlegt, die über elektrische Durchführungen(19) an die Vakuumseite gelangen. Von dort werden die Leitungenzur Heizwalze (6) vakuumseitig verlegt. Die Heizwalze (6)selbst ist derart ausgestaltet, dass sie aus einem Hohlrohr besteht,welches drehbar gelagert ist. In diesem Hohlrohr befindet sich ortsfesteine kommerziell erhältlichezylinderförmigeelektrische Strahlungsheizung. Das Band bildet von der Heizwalze(6) bis zur Umlenkwalze (7) eine freie Strecke.Unterhalb dieser freien Strecke sind PVD-Verdampfer, vorzugsweise Lichtbogenverdampferoder Elektronenstrahlverdampfer an der Kammer (3) angebracht,mit welchen das laufende Band in einem üblichen Beschichtungsverfahrenbeschichtet wird.
    [0014] Hinterder Umlenkwalze (7) wird das Band um eine zweite Tänzerwalze(12) geführtzur Aufwickelwalze (9). Weiterhin ist die Wickelvorrichtung (17)mit zwei Anpresswalzen (11) versehen. Diese erlauben eseinen Schneidgrad bei Metallbändernanzupressen und führenzu einer besseren Wickelqualität.Die Auf- (9) und Abwickeiwalzen (8) sind über Antriebswellen(20) mit Motoren (16) über eine Vakuumdrehdurchführung verbunden.Die Motoren sind an der Tür(2) luftseitig angebracht.
    [0015] Daszweite Ausführungsbeispielunterscheidet sich von dem Beispiel 1 dadurch, dass die Umlenkwalze(7) als Brems- und Kühlwalzeausgeführt ist.Hierzu ist die Umlenkwalze (7) über eine Antriebswelle (20)mit einem dritten Motor (16) verbunden. Dieser ist an derTür (2)luftseitig angebracht. Dieser Motor wird derart angesteuert, dasssich die Umlenkwalze (7) langsamer dreht als die Laufgeschwindigkeitdes Bandes. Dies hat zur Folge, dass der Bandzug nach der Umlenkwalze(7) höherist als vor der Umlenkwalze (7). Weiterhin ist die Umlenkwalze(7) als Doppelzylinder ausgeführt, wobei zwischen den zweiZylindern ein Kühlmedium,vorzugsweise Thermoöloder Wasser strömt.
    1 Tragrohr 2 Türe 3 Vakuumkammer 4 Lagerschild 5 Lagerschild 6 Umlenkwalze;Heizwalze 7 Umlenkwalze 8 Abwickelwalze 9 Aufwickelwalze 10 Anpressrolle 11 Anpressrolle 12 Tänzerwalze 13 Tänzerwalze 14 Federpaket 15 Dichtungsring 16 Motor 17 Wickelvorrichtung 18 Dichtungsflansch 19 ElektrischeDurchführungen 20 Antriebswelle
    权利要求:
    Claims (6)
    [1] Vorrichtung zum Beschichten von schweren Bändern imVakuum, mit einer zylindrischen Kammer (3), mit einer mindestensan einer Seite des Zylinders angeordneten Türe (2) und einer Wickelvorrichtung (17), dadurchgekennzeichnet, dass durch die Türe (2) ein Tragrohr(1) führtauf dem die Wickelvorrichtung (17) befestigt ist, mit einerzwischen zwei Lagerschilden (4, 5) befindlichenAbwickelwalze (8), einer Aufwickelwalze (9), mindestenszwei Umlenkwalzen (6, 7) und mindestens einerTänzerwalze(12, 13,) sowie mindestens einer Anpresswalze(11), wobei die Achsen aller Walzen parallel zur Achsedes Tragrohres (1) sind und Tragrohr (1) und Türe (2)unabhängig aufeinem Fahrwagen befestigt sind, wobei dieser Fahrwagen auf Rollenoder Schienen parallel zu Zylinderachse der Kammer (3)beweglich ist wobei jede Tänzerwalze(12, 13) durch je zwei Federpakete (14) inRichtung Tragrohr (1) gezogen wird.
    [2] Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,dass mindestens eine Umlenkwalze als Heizwalze ausgestaltet ist.
    [3] Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 2, dadurch gekennzeichnet,dass mindestens eine Umlenkwalze als Kühlwalze ausgestaltet ist.
    [4] Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet,dass mindestens eine Umlenkwalze als Bremswalze ausgestaltet ist.
    [5] Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet,dass Tragrohr (1) und Wickelvorrichtung (17) dieWände derKammer (3) nicht berühren.
    [6] Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet,dass unter der Wickelvorrichtung (17) mindestens eine Lichtbogenverdampferquelle ander Kammer (3) angebracht ist
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    同族专利:
    公开号 | 公开日
    WO2005103322A3|2006-04-13|
    WO2005103322A2|2005-11-03|
    DE102004019062B4|2009-10-01|
    引用文献:
    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    法律状态:
    2005-11-10| OP8| Request for examination as to paragraph 44 patent law|
    2009-02-12| 8127| New person/name/address of the applicant|Owner name: THE MOST FROM CALIFORNIA LLC,, THOUSAND OAKS, , US |
    2009-02-12| 8181| Inventor (new situation)|Inventor name: LAZAROV, PETER, 82041 DEISENHOFEN, DE |
    2009-02-12| 8128| New person/name/address of the agent|Representative=s name: HUBER & SCHUESSLER, 81825 MUENCHEN |
    2010-04-01| 8364| No opposition during term of opposition|
    2012-02-23| R119| Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee|Effective date: 20111101 |
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
    DE200410019062|DE102004019062B4|2004-04-20|2004-04-20|Vorrichtung zum Beschichten von schweren Bändern im Vakuum|DE200410019062| DE102004019062B4|2004-04-20|2004-04-20|Vorrichtung zum Beschichten von schweren Bändern im Vakuum|
    PCT/EP2005/004242| WO2005103322A2|2004-04-20|2005-04-20|Vorrichtung zum beschichten von schweren bändern im vakuum|
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